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FT-351高溫四探針電阻率測試系統升級版
2018-10-11 10:29:35 來源:高溫四探針電阻率測試FT-351高溫四探針電阻率測試系統詳情介紹
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述:overview
1. 四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫箱結合
2. 配置專用的高溫四探針測試探針治具
3. PC軟件對數據的處理和測量控制.
4. 大量程測試范圍.
應用說明:
半導體材料的電導率對溫度變化測量要求,先進的測控軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導率數據的變化曲線圖譜,及過程數據值的報表分析.
適用行業:Applicable industry:
廣泛用于:企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
型號及技術參數Models and technical parameters:
規格型號Models FT-351A FT-351B FT-351C
1.方塊電阻范圍sheet resistance 10-5~2×105Ω/□ 10-6~2×105Ω/□ 10-4~1×107Ω/□
2.電阻率范圍resistivity range 10-6~2×106Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm 10-5~2×108Ω-cm
3.測試電流范圍test current range 0.1μA.μA.0μA,100A,1mA,10mA,100 mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA ---200pA
4.電流精度current accuracy ±0.1%讀數 ±0.1讀數 ±2%
5.電阻精度resistance accuracy ≤0.3% ≤0.3% ≤10%
PC軟件界面
PC software interface 顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness
7.測試方式test mode 雙電測量Double electrical measurement
8.四探針儀工作電源working power AC 220V±10%.50Hz
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